
半导体激光器腔面镀膜陪条
产品概览
单发射体或阵列配置(也称为半导体激光器巴条)的多模半导体激光器,已经成为多种应用中的固态激光器光学泵浦的首选泵浦源。
激光二极管巴条实际是在非常薄的外延片上光刻形成的激光二极管发射阵列。在半导体激光器的生产过程中为了实现更耐用的反射镜,更长的使用腔、宽度更窄的发射体(降低发散)和更大的发射体间距(减少热串扰)来提高功率,需要将外延片解理成巴条,为避免腔面氧化和提高激光器的功率等性能,还需要在巴条腔面上进行镀膜。
因此,在激光器腔面镀膜时为防止相邻的激光器巴条粘到一起,避免“阴影”效应并需要提高激光器的稳定性及使用寿命,需要在两条激光器巴条之间放置一条陪条将其隔开,这个用于激光器巴条腔面镀膜隔离作用的巴条(bars)就称之为半导体激光器腔面镀膜陪条,一般使用激光隐形切割硅基晶圆而成。镀膜陪条具体规格视激光器功率大小而定。
英创力科技可以为客户提供在超薄、超平的硅基晶圆上激光隐形切割可定制规格的激光器腔面镀膜陪条。
产品特性
》超薄 >80um
》超平 TTV<10um
》良好的尺寸误差控制 ±5um
》陪条最小切割宽度 >120um
》切割端面良好的上下侧镜面效果
交付样式
》6寸硅基晶圆附着蓝膜隐形切割后整交
(其它规格来邮咨询)
主要应用
》激光器巴条腔面镀膜陪条
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